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Descripción general del producto Estructura funcional Especificaciones técnicas Descargas
Estación de sonda de alta y baja temperatura en vacío Serie CG

Descripción general del producto

La estación de sonda de alta y baja temperatura en vacío Serie CG SEMISHARE es el resultado de la innovación de la acumulación de tecnología de SEMISHARE durante muchos años, además, SEMISHARE es también el primero que investigó y desarrolló de forma independiente y lanzó la estación de sonda de alta y baja temperatura en vacío en China, la estación de sonda de alta y baja temperatura en vacío es capaz de realizar las pruebas precisas de electricidad, intensidad de luz, longitud de onda, campo magnético y otras pruebas de muestras en el entorno de vacío de alta y baja temperatura, que desempeña una ventaja tecnológica en los campos de temperatura ultra baja, vacío ultra alto, control automático y simulación láser.

Basic Information

Número de producto CG-O-4 Entorno de trabajo High and low temperature vacuum environment
Requisitos de energía AC220V,50~60HZ Modo de control Manual Probe Station
Dimensiones del producto 1100mm*1100mm*530mm Peso del equipo About 190 kg

Dirección de aplicación

prueba de chips, prueba de LD/LED/PD, caracterización espectral de fibra óptica, caracterización IV/CV de materiales/dispositivos, prueba Hall, caracterización de transporte electromagnético, caracterización de alta frecuencia, etc. de la estación de sonda de alta y baja temperatura en vacío Serie CG en entornos de alta y baja temperatura en vacío

Características técnicas

Cámara de vacío

La cámara de vacío adopta la estructura de cámara dual de cámara exterior y cámara de blindaje, proporcionando un entorno de vacío con una presión final de 5x10-⁴Pa (cuando está equipada con una bomba molecular de 250 L/s) para la prueba de muestras. Cuando se realizan pruebas a bajas temperaturas, se impide que el vapor de agua en el aire se condense en la muestra, evitando así fugas excesivas o el fallo de la prueba debido a la incapacidad de la sonda para entrar en contacto con el electrodo. Además, debido al efecto adiabático del vacío puede proporcionar eficazmente la eficiencia de enfriamiento. En las pruebas a alta temperatura, se evita la oxidación de la muestra por el oxígeno del aire, por lo que se evitan errores eléctricos y deformaciones físicas y mecánicas de la muestra.

Mecanismo de ajuste XYZ del brazo de sonda

El mecanismo de ajuste XYZ del brazo de sonda adopta un husillo autoblocante y una estructura de guía de rodillos cruzados para posicionar la sonda con una precisión de 10 μm, y la deriva de la sonda es mejor que ±60 nm/30 mins de aguja de puntería de alta precisión. Al mismo tiempo, mediante el uso de abrazaderas tubular de tres ejes y el cable de tres ejes con una función de blindaje elevada, se consigue una precisión de prueba de fugas de 50 FA.

Mecanismo de ajuste del microscopio

El mecanismo de ajuste del microscopio permite la observación de cualquier zona de la muestra ajustando el telescopio y la altura del soporte, así como el propio asiento de ajuste del microscopio. El ocular de 20 veces y el objetivo de 0,8 veces a 5 veces permiten ampliar la muestra de 16 X a 100 x.

Sistema de regulación del flujo de refrigerante

El sistema de regulación de refrigerante se compone de depósito Dewar, válvula de control de presión de nitrógeno comprimido y válvula de aguja de ajuste preciso. Cuando se controla la baja temperatura, la presión en el depósito Dewar se ajusta ajustando la válvula de control de presión de nitrógeno comprimido, controlando así la presión de salida del refrigerante, y seguidamente regulando el flujo de refrigerante; el flujo de refrigeración se controla con precisión ajustando la válvula de aguja de precisión, realizando finalmente la función de control preciso de la temperatura de baja temperatura.

Circuito coaxial de refrigerante

El circuito coaxial de refrigerante permite que el refrigerante entre en la estación de muestras a través de la tubería de entrada central, fluya a través de la cámara de blindaje de la placa inferior de la cámara, vuelva a la tubería de retorno exterior del circuito coaxial y, finalmente, se descargue al exterior a través del puerto de escape. El circuito coaxial de refrigerante permite utilizar el refrigerante en el proceso de descarga, creando un ambiente mucho más frío en comparación con la temperatura ambiente, e inhibiendo el consumo prematuro del refrigerante que entra en la estación de muestras, aumentando así la eficiencia de refrigeración del refrigerante, y reduciendo el consumo del mismo.

Estación antivibración

El sistema antivibración adopta una estación antivibración con un soporte de tipo muelle neumático. A través de una serie de diseños de absorción de vibraciones, como la forma del muelle neumático, el material, el volumen de la cámara del muelle y el volumen del depósito de subsidio, la abertura de amortiguación y la válvula de ajuste horizontal, el sistema consigue una frecuencia intrínseca de baja frecuencia de 1,5 Hz para la frecuencia propia vertical, y una frecuencia intrínseca de baja frecuencia de 1,2 Hz para la frecuencia propia horizontal, y una capacidad de carga de hasta 400 Kg. De este modo se evitan de forma eficaz los efectos adversos de las vibraciones en las sutiles bandas de baja frecuencia en la prueba.

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