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Estación de sonda
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Descripción general del producto Estructura funcional Especificaciones técnicas Descargas Vídeo
Estación de sonda semiautomática de alta y baja temperatura en vacío Serie GGX

Descripción general del producto

La estación de sonda semiautomática de alta y baja temperatura en vacío SEMISHARE CGX, diseñada para aplicaciones de I+D y de producción específicas, permite realizar pruebas rápidas y de alta precisión de obleas de un solo chip en un entorno de vacío con temperaturas que oscilan entre 77K-450K (nitrógeno líquido) y 10K-450K (helio líquido).

Basic Information

Número de producto CGX8 Entorno de trabajo Vacuum High-Low Temperature Environment
Requisitos de energía AC220V,50~60HZ Modo de control Semi-Automatic
Dimensiones del producto 1150*1450*1800mm Peso del equipo About 1000KG

Dirección de aplicación

Clasificación por muestras de prueba: prueba de obleas, prueba de LED, prueba de dispositivos de potencia, prueba de MEMS, prueba de PCB, prueba de paneles LCD, prueba de placas de células solares, prueba de resistividad de la superficie del material Clasificación por aplicación: Prueba de RF, prueba de entorno de alta temperatura, prueba de baja corriente (clase 100fA), prueba I-v/c-v/p-iv, prueba de alta tensión, prueba de alta corriente, prueba de entorno de campo magnético, prueba de entorno de radiación

Características técnicas

Sistema de integración de software desarrollado por la propia empresa, con mayor compatibilidad

● Admite control semiautomático (se puede probar manual o automáticamente)
● Calibración automática de la oblea, mapeo automático de la oblea, medición automática del tamaño del puerto, alineación automática, los datos de prueba automática se pueden acceder de forma remota.
● Calibración automática del módulo de sonda de RF con uno solo clic, función de borrado automático de la sonda
● Calibración adaptativa de precisión de mandril de cuatro ejes con un solo clic, que admite la prueba de punto de Pad a nivel de micras
● Admite prueba de punto único o prueba continua
● Potentes capacidades de almacenamiento de datos y procesamiento de datos
● Clasificación de valor BIN de los resultados de prueba para juzgar el NG del dispositivo
● Función de integración multisistema, puede actualizar independientemente el sistema operativo, el sistema de aplicación y el sistema de prueba del dispositivo

Sistema de absorción de choque por película de aire

El diseño doble integrado del sistema de absorción de choque por película de aire del alto rendimiento y de la barra del desplome del aislamiento externo, evita con eficacia la vibración causada por el tacto del operador; y el uso de piezas de fundición duraderas como substrato, inhibe la vibración en el proceso del movimiento para asegurar la operación lisa del equipo con una velocidad del ≤ 1S para asegurarse de que la imagen no es temblorosa al ampliar la imagen 2000X; al mismo tiempo, la válvula reguladora de alta precisión garantiza que el error de la parte móvil de la plataforma en altura sea ≤ 0,1 mm, lo que realiza eficazmente la capacidad de prueba die to die rápido y garantiza que todo el sistema pueda seguir manteniendo un estado de funcionamiento estable en movimiento de alta velocidad, y mejora la eficiencia de la prueba en gran medida.

Microscopio con zoom motorizado

Microscopio con zoom motorizado 12:1 rápido y preciso, rango de zoom 0,6X~7,2X, resolución de imagen 3,05 μm, aumento integrado 33X~396X

El sistema de mandril más eficiente de la industria, la eficiencia de la prueba se mejora en gran medida

● Sistema de prueba de mandril de alta eficiencia, velocidad de funcionamiento ≥ 40 mm/s, precisión de movimiento ≤ 1 μm, mientras se mueve el tiempo de índice ≤ 500 ms, los excelentes parámetros de funcionamiento del sistema han alcanzado el nivel de liderazgo, con alta precisión de la prueba y eficiencia para cumplir con los diversos tipos de obleas y dispositivos de alta repetibilidad y estabilidad de prueba, la eficiencia de la prueba se mejora efectivamente y en gran medida;
● Con precisión de control de temperatura y estabilidad mejor que ± 0,1℃, proporcionando pruebas de obleas de confiabilidad en entornos de alta y baja temperatura;
● El diseño de estructura compacta de movimiento de cuatro dimensiones con bajo centro de gravedad asegura la velocidad de movimiento de 40mm/s mientras se mantiene la estabilidad de la aceleración y desaceleración del movimiento.

Title

Mechanical Specifications

Chuck

8"

Chuck Flatness

20μm

Probe Arm Positioning Accuracy

2μm

Probe Arm X-axis Travel

10mm

Probe Arm Y-axis Travel

10mm

Probe Arm Z-axis Travel

10mm

Chuck Stage X-axis Travel

200mm

Chuck Stage Y-axis Travel

200mm

Chuck Stage Z-axis Travel

20mm

Chuck Stage Theta-axis Travel

±5°

Chuck Stage Repeated Positioning Accuracy

±1μm

Temperature Control Specifications

Temperature Range

77K-450K (liquid nitrogen), 10K-450K (liquid helium)

Temperature Controller Resolution

0.001℃

Sensor Error

0.5% in any segment

Vacuum Specifications

Leak Rate

1.3x10-9 Pa.M3/s

Turbo Pumping Speed

290L/S

Turbo Pump Ultimate Pressure

5 x 10-10mbar

System Ultimate Pressure

5.0x10-4Pa


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