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Descripción general del producto Estructura funcional Especificaciones técnicas Descargas
Equipo de reparación de máscaras LCVD LD14

Descripción general del producto

Los equipos de reparación de máscaras LCVD utilizan principalmente la tecnología de deposición química de vapor inducida por láser (LCVD) para reparar los defectos de las máscaras. La serie LD14 de SEMISHARE, con una amplia gama de espesor de deposición, alta precisión de reparación, precisión láser a nivel de micras, puede tratar de manera efectiva máscaras de paso muy pequeño, y proporcionar soluciones de reparación de alta precisión y bajo costo para defectos de máscara de alto valor, y en mayor medida, ahorrar los costos de producción y operación de las empresas.

Basic Information

Número de producto LD14 Entorno de trabajo Enclosed
Requisitos de energía AC 220V ±5% 50Hz Modo de control Full-automatic
Dimensiones del producto Customizable Peso del equipo Customizable

Dirección de aplicación

Puede utilizarse para rellenar piezas que faltan o reparar patrones en una máscara. Esta técnica se utiliza habitualmente para reparar problemas como aperturas de circuito y cortocircuitos.

Características técnicas

Equipo de reparación de máscaras LCVD LD14

● Para productos con diferentes espesores y una amplia gama de productos, el equipo puede adaptarse automáticamente al ajuste de altura del cabezal de deposición sin necesidad de ajuste manual al cambiar de producto.
● Sistema de gestión y control de la deposición de vapor, capaz de realizar una deposición por evaporación cuantitativa, el uso a largo plazo no sufrirá un problema de alargarse el tiempo de deposición debido al consumo de materias primas y la disminución de la tasa de evaporación, con el fin de satisfacer la búsqueda de estabilidad del proceso por parte del cliente.
● Tratamiento de reciclado de gases de escape, los filtros de alta temperatura de hasta docenas de capas pueden interceptar y descomponer por completo los componentes nocivos de los gases de escape, que se enfrían y convergen en la tubería de gases de escape de la planta.
● Ser capaz de ofrecer productos personalizados en función de las necesidades del cliente.


Title

Project

Description

Processing time (1 defect/piece, including positioning time)

15 s

Panel size range

5”-14”

Panel thickness

0.1-5mm

Motion resolution

±0.1μm

Repeat positioning accuracy

±1μm

Slit accuracy

≤±1μm

Autofocus objective lens switching center offset

≤±1μm

Deposition parameters

Deposition mode:Scan and Step

Deposition shape: rectangular and circular, length, width, side length or diameter
The actual size of the spot can be adjusted and displayed by software

Step deposition rectangle size range:
3μm*3μm~30μm*30μm, adjustment accuracy 1μm

Deposition edge accuracy

±0.5μm

Deposition thickness

2000 Å ~15000Å adjustable

Maximum total power

3.5KW


AC 220V ±5% 50Hz

UPS

1000VA/500W  3-20 minutes (half load)

Consumables

Compressed air CDA (0.6Mpa, 0~1L/min)

High purity argon Ar (0.6Mpa, 0~5L/min)

High purity Cr(CO)6 (purity higher than 99.8%) High purity W(CO)6 (purity higher than 99.8%) or Mo(CO)6 (purity higher than 99.8%)

Size

1230*1390*2410

Computer configuration

i5-6500CPU, 8GDDR4 memory, 128G solid state drive + 1T mechanical hard disk, 300W industrial-grade power supply, beta version win1064-bit system, PCIeX16, PCIeX4, PCI slot X5, motherboard Gigabit network port X2, serial port X6


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