Equipo de reparación de láser del panel LCVD

Equipo de reparación de láser del panel LCVD

Descripción general del producto

El equipo de reparación de láser del panel LCVD está diseñada principalmente para los defectos y desperfectos del proceso de pantalla LCD. Con el sistema líder de visión de máquina de SEMISHARE como núcleo, el equipo puede proporcionar reparación de alta precisión y soluciones de bajo costo para defectos de pantalla de productos terminados/productos semi-acabados de LCD, lo que mejora en mayor medida la eficiencia de la operación de la empresa.

Basic Information

Número de producto	LCVD-G6 \| LCVD-G8.5	Entorno de trabajo	Open type
Requisitos de energía	380V，50Hz,3Phase,approx.40AMax / 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max	Modo de control	Full-Automatic
Dimensiones del producto	2850mm wide x2500mm long x2500mm high	Peso del equipo	About 7500 kg

Dirección de aplicación

Reparación de circuitos abiertos y cortocircuitos en paneles TFT-LCD y OLED, reparación de máscaras defectuosas

Características técnicas

Características del producto

● Reconocimiento óptico de imagen de gran ampliación, calibración automática de enfoque
● Operación visual del sistema láser, mejorando en gran medida la eficacia de la reparación
● Estructura de motor lineal, precisión láser de 1 μm, alta velocidad y silencioso
● Posicionamiento automático de AOI, carga y descarga automáticas
● Rica función de prueba de software, calibración de alta precisión del sistema mecánico
● Forma de reparación editable, diseño de posiciones múltiples
● Dispositivo de sistema de prevención de vibración interna líder, funcionamiento más estable
● Sistema de blindaje eléctrico, blindaje de la luz y la interferencia electromagnética

Model LCVD series
Specification

Model		LCVD-G6	LCVD-G8.5
Dimension		W: 2850mmL: 2500mmH: 2500mm	W: 4000mmL: 3500mmH: 2500mm
Weight (about)		7500KG	10500KG
Electricity Demand		380V, 50Hz, 3Phase, approx. 40A Max.	380V, 50Hz, 3Phase, approx. 60A Max.
Repair capacity	Repairable panel size	L * W ≤ 1500mm * 1850mm,	L * W ≤ 2500mm * 2200mm, Thickness ≤ 3mm
		Thickness ≤ 3mm	Laser	Laser system	DPSS Laser cutting system
	CVD material	W, Cr, MO, Al			CW Laser deposition system
	line deposition velocity	5~10μm/s ( Thickness 5000Å )		Energy regulation accuracy	0-1000 steps
	Single defect repair time	After positioning, the time of repairing			0-100%
		a single defect is about 5 seconds.		Slit size	0~2.5mm
	Recipe	Software edit and stroed locally		Slit accuracy	1μm
	Cutting width	1μm~50μm adjustable		Laser energy calibration mode	Automatic calibration
	CVD width	2μm~30μm adjustable		Calibration time cost	3mins
	CVD edge accuracy	+/-0.5μm		Laser energy	Better than 2%
	CVD thickness	2000Å ~15000Å Adjustable		calibration accuracy
	Resistance of	<65Ω (width: 5μm, Length :		Wavelength	Cut Laser: IR 1064nm, GRN 532nm,
	deposition line	50μm, Thickness : 5000 Å)			UV266nmCVD CW laser: NUV 351nm
	CVD stability	Cleaning times by cleaning		Pulse width	< 12 ns
		machine >10 times		Spot size	2.0~ @50X object 1064nm
		Strong acid-base test > 1H			( test on standard mask)
		Brush wipe > 1H		Scanning energy uniformity	Better than 5% @IR
		Ultrasonic 1Mhz > 1H		Laser lifetime	Cut Laser: 1 billion excitation
Gantry	X-Y-Z travel range	LCVD-G6 1500 * 1850 * 58mm, LCVD-G8.5 2500 * 2200 * 58mm			CVD CW laser: 8000 hours
				Repair mode	Scan mode and Step mode
	X-Y velocity	0~400mm/s adjustable		Scanning path	Arbitrary path definition
	X-Y resolution(minimum movement)	0.1μm	Control	Working mode	Automatic repair, automatic data
	Z velocity	0~2mm/s Adjustable			load, on-line communication
	Z resolution (minimum movement)	0.1μm			Manual or automatic repair
	Repeatability accuracy	+-5μm		Panel load	Robot
	Repair alignment accuracy	0.1μm		CIM system	Yes
Microscope	magnification	50X~ 1000X		Anti-vibration	Vibration free table installed
				Industry PC	23-inch display & computer: i7
	objectives	5X,10X, 20X, 50X NIR, 50X			processor, 2 blocks 1TB hard disk
		UV, 50X NUV Objects			(one of which is a backup hard disk),
	Optical resolution	0.7μm			8G memory, 1G Independent video
					card, DVD-ROM
	Objective switching speed	0.2~0.7s		Communication interface	RS232 / EtherCAT / GPIB etc.
				Security	Frame covered , and the operator
	Switching lens deviation	Less than 3μm			operates outside .EMO
	Focus	Laser auto focus			Limit sensor, Motion platform and Laser system limit interlock
	Cemera	2 million pixels			Alarm
Lighting		TOP/Bottom coaxial LED light,Light adjustable independently
Direction of application		TFT-LCD and OLED array panel short circuit and open circuit repair, Mask defects repair
Characteristic
Stable laser repair results			Feature-rich software
Ultrafast laser repair speed			Repair shape can be edited arbitrary
Linear Motor platform with 0.1μm Resolution			Automatic AOI defect location
Minimal damage			Multistation desgin
Laser precision 1μm			Automatic panel exchange

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