Descripción general del producto
La estación de sonda semiautomática Serie X es una estación de sonda semiautomática integrada de alta eficiencia para realizar diversas pruebas de rendimiento de chips avanzados, con funciones eléctricas, ópticas, de microondas y otras funciones múltiples, y con el mayor ancho de banda de temperatura y precisión de prueba de la industria, puede adaptarse a una variedad de aplicaciones de prueba
Basic Information
| Número de producto | X6/X8/X12 | Entorno de trabajo | Open type |
| Requisitos de energía | 220V,50~60Hz | Modo de control | Semi-Automatic |
| Dimensiones del producto | 1060mm*1610mm*1500mm | Peso del equipo | About 1500 kg |
Dirección de aplicación
Los equipos de estación de sonda semiautomática Serie X son profesionales para realizar pruebas de rendimiento de chips avanzados con obleas de 12″, 8″, 6″ de Si/GaN/SiC y otros tipos de dispositivos, pueden equiparse con la instrumentación adecuada, para realizar análisis de I-V, C-V, señales ópticas, RF, ruido 1/f y otras características de los equipos, dispositivos ricos en características, escalables de alta potencia de la prueba de oblea, de RF y automática, y puede cargar el sistema de control de temperatura, satisfacer al cliente en el entorno de alta y baja temperatura de todo tipo de requisitos de prueba de rendimiento del dispositivo de la oblea.
Características técnicas
El sistema de mandril más eficiente de la industria, la eficiencia de la prueba aumentó en más de un 40%
● Sistema de prueba de mandril de alta eficiencia, velocidad de funcionamiento ≥ 70 mm/s, precisión de movimiento ≤ 1 μm, mientras se mueve el tiempo de índice ≤ 500 ms, los excelentes parámetros de funcionamiento del sistema han alcanzado el nivel de liderazgo, con alta precisión de la prueba y eficiencia para cumplir con los diversos tipos de obleas y dispositivos de alta repetibilidad y estabilidad de prueba, la eficiencia de la prueba aumentó efectivamente en más de un 40%;
● Con precisión de control de temperatura y estabilidad mejor que ± 0,08℃, proporcionando pruebas de obleas de confiabilidad en entornos de alta y baja temperatura;
● El diseño de estructura compacta de movimiento de cuatro dimensiones con bajo centro de gravedad asegura la velocidad de movimiento de 70 mm/s mientras se mantiene la estabilidad de la aceleración y desaceleración del movimiento.
Tecnología de imagen de 3 veces
Incorporado microscopio de 3 ZOOM con multi-campo de visión, sistema óptico de homófobo de 3 veces, aumento óptico de zoom 120X-2000X, visualización de multi-campo de visión grande y pequeño al mismo tiempo, que puede hacer que la aguja de apuntar operación conveniente
Módulo auxiliar de mandril, carga y descarga segura de obleas de silicio
● El diseño innovador del eje XY de mandril asegura que el eje XY no se vea afectado por las placas laminadas durante el movimiento, lo que resulta en una mayor precisión y estabilidad de movimiento;
● La cámara de la estación de sonda se puede abrir a la vez, y sacar todo el mecanismo de mandril para cargar y descargar obleas a una velocidad de 370 mm con una gran carrera, la carga manual de obleas es más conveniente y rápida; al mismo tiempo, el rango de ángulo de rotación del mandril es más grande, lo que hace que sea menos exigente colocar manualmente la oblea y más flexible y cómodo de manejar.
Diseño de la plataforma de microposicionador en forma de O
El sistema de prueba de la sonda adopta el diseño de plataforma de microposicionador en forma de O, que hace un uso eficiente del espacio del microposicionador y realiza eficazmente pruebas más eficientes y rápidas.
Sistema de absorción de choque por película de aire
El diseño doble integrado del sistema de absorción de choque por película de aire del alto rendimiento y de la barra del desplome del aislamiento externo, evita con eficacia la vibración causada por el tacto del operador; y el uso de piezas de fundición duraderas como substrato, inhibe la vibración en el proceso del movimiento para asegurar la operación lisa del equipo con una velocidad del ≤ 1S para asegurarse de que la imagen no es temblorosa al ampliar la imagen 2000X; al mismo tiempo, la válvula reguladora de alta precisión garantiza que el error de la parte móvil de la plataforma en altura sea ≤ 0,1 mm, lo que realiza eficazmente la capacidad de prueba die to die rápido y garantiza que todo el sistema pueda seguir manteniendo un estado de funcionamiento estable en movimiento de alta velocidad, y mejora la eficiencia de la prueba en gran medida.
Sistema de blindaje antiinterferencia
Cámara de blindaje cerrada antiinterferencia EMI/ruido espectral/luz externa, la cámara dispone de oxidación conductiva y procesamiento de tecnología de superficie niquelada, para asegurar que el estado conductivo entre las partes para lograr el efecto de blindaje completo, reducir el ruido del sistema, blindar eficazmente la interferencia externa, y proporcionar protección de baja corriente de fuga, lo que proporciona el mejor entorno de prueba para pruebas de señales eléctricas débiles; mientras tanto, la cámara hermética evita que las muestras de prueba se condensen en el entorno de baja temperatura, garantizando pruebas de confiabilidad rápidas y seguras de obleas y dispositivos en entornos de alta y baja temperatura.
Sistema de integración de software desarrollado por la propia empresa, con mayor compatibilidad
● Admite control semiautomático (se puede probar manual o automáticamente)
● Calibración automática de la oblea, mapeo automático de la oblea, medición automática del tamaño del puerto, alineación automática, los datos de prueba automática se pueden acceder de forma remota.
● Calibración automática del módulo de sonda de RF con uno solo clic, función de borrado automático de la sonda
● Calibración adaptativa de precisión de mandril de cuatro ejes con un solo clic, que admite la prueba de punto de Pad a nivel de micras
● Admite prueba de punto único o prueba continua
● Potentes capacidades de almacenamiento de datos y procesamiento de datos
● Clasificación de valor BIN de los resultados de prueba para juzgar el NG del dispositivo
● Función de integración multisistema, puede actualizar independientemente el sistema operativo, el sistema de aplicación y el sistema de prueba del dispositivo
Configuración opcional flexible y expansión
Acceso conveniente del instrumento, mientras que apoya la extensión y la mejora completamente automáticas del sistema, carga del sistema de control de la temperatura; hay una variedad de módulos de prueba para elegir, de acuerdo con el módulo de prueba puede ser equipado con una variedad de posicionadores, abrazaderas y tarjetas de sonda utilizados con la estación de sonda, como posicionador de seis ejes, cable de RF, etc.; alcanzó el nivel más alto de la industria en los numerosos parámetros de funcionamiento del sistema, funciones y características para satisfacer sus diferentes necesidades de prueba, también es la opción ideal de un equipo de estación de sonda semiautomática para más clientes de la industria
