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Estación de sonda
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Descripción general del producto Estructura funcional Especificaciones técnicas Descargas
Sistema de prueba de resistencia cuadrada de cuatro sondas totalmente automático

Descripción general del producto

El sistema de prueba de resistencia cuadrada de cuatro sondas es un equipo de medición de alta precisión con las ventajas de una buena confiabilidad y un funcionamiento sencillo, que es de gran importancia para el diseño, la producción y el control de calidad de los dispositivos microelectrónicos.

Basic Information

Número de producto SR8/SR12 Entorno de trabajo room/high temperature, shielded
Requisitos de energía / Modo de control Full-automatic
Dimensiones del producto Customizable Peso del equipo Customizable

Dirección de aplicación

Materiales semiconductores, materiales para células solares (silicio, silicio policristalino, carburo de silicio, etc.), nuevos materiales, materiales funcionales (nanotubos de carbono, DLC, grafeno, nanocables de plata, etc.), películas delgadas conductoras (metal, ITO, etc.), películas delgadas relacionadas con el silicio (LTPS, etc.), pruebas de capas de difusión, y otros (*Póngase en contacto con nosotros para obtener más información)

Características técnicas

Características técnicas

● SR8 es compatible con obleas de 6/8 pulgadas y SR12 es compatible con obleas de 8/12 pulgadas
● Diseñado para un rendimiento de medición totalmente automatizado en la línea de producción, con alta eficiencia de prueba
● Configuración de sonda simple/doble para diferentes escenarios de aplicación
● Protocolos de comunicación de servicio de fábrica SECS/GEM opcionales
● Conforme a los estándares industriales ASTM y JIS

Title

Model

SR8/SR12

Sample size

<Circle>  150mm(6inch), 200mm(8inch), 300mm(12 inch)

<Square> 730x920mm or customer design

Test range

[R] 1μ~3M Ω・cm

[RS] 5m~10M Ω/sq

Loadport

Single/dual port

Probe

Single/dual probes

Industry standards

ASTM and JIS

Communication Interface

SECS/GEM

Function Configuration

Clean Pad, E1/E2 Cameras, Temperature Chuck, Wafer Thickness Test, etc.



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