Descripción general del producto
El equipo de reparación de corte de máscara Serie L14 se utiliza principalmente para reparar los defectos de la máscara en el proceso de uso, con el sistema de visión de máquina líder de SEMISHARE como núcleo, el equipo es capaz de proporcionar soluciones de reparación de alta precisión para defectos de máscara de alto valor, y ahorrar los costos de producción y fabricación de la empresa en mayor medida.
Basic Information
| Número de producto | L14 | Entorno de trabajo | Open Type |
| Requisitos de energía | AC 220V ±5% 50Hz | Modo de control | Manual |
| Dimensiones del producto | Customizable | Peso del equipo | Customizable |
Dirección de aplicación
Aplicaciones que requieren un corte preciso o la eliminación de capas específicas de material
Características técnicas
Características técnicas
Reparación de corte de máscara
● Capacidad de manejar la reparación de una amplia gama de materiales, incluyendo cromo, silicio, nitruro de silicio, cuarzo, materiales EUV, partículas extrañas y partículas desconocidas persistentes;
● Capacidad de eliminar o reparar con precisión áreas defectuosas sin afectar a otras partes de la máscara;
● Capacidad de ofrecer productos personalizados en función de los requisitos del cliente.
