Tecnología y soluciones
En los últimos años, con el rápido desarrollo de la industria de semiconductores RF, la tecnología de microondas RF se ha utilizado ampliamente en comunicación inalámbrica celular, comunicación por satélite, posicionamiento GPS, navegación, radar de vehículos, sistemas inteligentes de cobro electrónico de peajes, comunicación militar y otros campos. Muchas ciudades también han inaugurado redes 5G para cubrir continuamente la caracterización a nivel de oblea de RF y ondas milimétricas (RF y MmW), que son clave para la depuración del diseño de circuitos integrados de RF y ondas milimétricas, así como para la modelización de dispositivos semiconductores de alta eficiencia. Debido a que los equipos de prueba de RF a nivel de oblea (como: analizadores de red vectorial, sintonizadores de impedancia de frecuencia ascendente, dispositivos de acoplamiento, Bias - Ts y muchos otros componentes del sistema) requieren una integración de alta complejidad y demanda particular, SEMISHARE ha realizado un considerable trabajo en cuanto a la precisión de medición.
La demanda de medición de radiofrecuencia cubre principalmente las características de potencia de RF y ruido de RF, describe el tamaño de la señal, la medición de parámetros S, la fuente de señal, el ajuste de impedancia y el desplazamiento de carga. Estas aplicaciones son desafiantes para el sistema de prober, como la estabilidad mecánica, la medición del camino de transmisión más corto hacia la mejor dirección durante un largo período, la capacidad de medición puntual repetitiva y de alta consistencia para diferentes tipos de metales a probar, y si es posible realizar una corrección precisa al objeto de prueba al final.
Se realiza la prueba de relación de los parámetros S del dispositivo de microondas, incluidos los test de amplitud, fase, retardo y otros.
1. El tamaño del chuck no es menor a 6 pulgadas, el recorrido del movimiento X-Y-Z no es menor a 150 mm, 150 mm, 10 mm, compatible con el modo de control manual y semi-automático, con la precisión correspondiente de 0.1 m, 0.1 m, 0.1 m. El eje Theta tiene rotación eléctrica de 5, con precisión de 0.001.El chuck adopta orificios de adsorción independientes y círculos de anillos para muestras, ambos controlados de forma independiente. Los orificios de adsorción pueden elegir diámetros inferiores a 500 micrones, siendo el tamaño más grande compatible con el uso de piezas cerámicas de 50.8 mm a 50.8 mm, 50 mm a 60 mm, 60 mm a 70 mm, y una sola pieza pequeña (el tamaño de la muestra pequeña es mayor que el diámetro de los poros de absorción). Al mismo tiempo, se equipa con un accesorio de ventosa que incluye un dispositivo de posicionamiento que cumple con los tres tamaños marcados en las piezas cerámicas porosas para la prueba de adsorción.
