Présentation des produits
La station de sonde semi-automatique sous vide à haute/basse température CGX de SEMISHARE est spécialement conçue pour la R&D et les applications de production spécifiques. Elle permet de réaliser rapidement des tests de haute précision sur des plaquettes individuelles dans un environnement sous vide à une température de : 77 K à 450 K (azote liquide) et de 10 K à 450 K (hélium liquide).
Informations de base
| Numéro de produit | CGX8 | Environnement de travail | Vacuum High-Low Temperature Environment |
| Besoins en énergie | AC220V,50~60HZ | Mode de contrôle | Semi-Automatic |
| Dimensions du produit | 1150*1450*1800mm | Poids de l'équipement | About 1000KG |
Domaines d'application
Selon la classification des échantillons à tester : test des plaquettes, test des LED, test des dispositifs de puissance, test MEMS, test PCB, test des panneaux LCD, test des cellules solaires, test de résistivité de surface du matériau Selon la classification des applications : Test RF, tests dans un environnement à haute température, test de courant faible (niveau 100 fA), test I-v/c-v/p-iv, test de haute tension et de courant élevé, test dans un environnement à champ magnétique, tests dans un environnement de rayonnement
Caractéristiques techniques
Système d'intégration logicielle auto-développé avec une compatibilité renforcée
● Prise en charge du contrôle semi-automatique (test manuel ou automatique)
● Étalonnage automatique des plaquettes, cartographie automatique des plaquettes, mesure automatique de la taille de la puce, alignement automatique, accès à distance aux données de test automatique
● Étalonnage automatique du module de sonde RF à l'aide d'une seule touche, fonction de dégagement automatique de la sonde
● Étalonnage de la précision du mandrin à quatre axes adaptatif à l'aide d'une seule touche, prise en charge de la mesure du point pad à l'échelle du micron
● Prise en charge des tests en un point ou en continu
● Forte capacité de stockage et de traitement des données
● Les résultats des tests peuvent être divisés en valeurs BIN pour déterminer le NG du dispositif
● Fonction d'intégration multi-système, permettant de mettre à niveau le système d'exploitation, le système d'application et le système d'essai du dispositif de manière indépendante.
Microscope à zoom motorisé
La station est dotée d'un microscope à zoom motorisé rapide et précis 12:1 avec une plage de zoom de 0,6X-7,2X, une résolution d'image de 3,05 μm et un grossissement global de 33X-396X.
Système de mandrin efficace, efficacité des tests considérablement augmentée
● Avec une vitesse de fonctionnement ≥ 40 mm/s, une précision de mouvement ≤ ±1 μm, un temps d'indice de mouvement simultané ≤ 500 ms, d'excellents paramètres de fonctionnement atteignant le niveau de pointe ainsi qu'une précision et une efficacité élevées des tests, le système d'essai à mandrin efficace peut répondre aux besoins de test de haute répétabilité et de stabilité de divers types de plaquettes et de dispositifs. L'efficacité des tests est effectivement augmentée ;
● Avec une précision et une stabilité du contrôle de la température meilleure que ±0,1 °C, le système permet des tests fiables des plaquettes dans des environnements à haute/basse température ;
● La conception de la structure compacte du mouvement quadridimensionnel avec un centre de gravité bas assure la vitesse de mouvement de 40 mm/s tout en maintenant la stabilité de l'accélération et de la décélération du mouvement.
Système d'absorption des chocs par film d'air
La conception combinée d'un système d'absorption des chocs par film d'air haute performance intégré et d'une barrière anti-collision d'isolation externe permet d'éviter efficacement les vibrations causées par le toucher de l'opérateur ; des pièces moulées sont utilisées comme plaque de base pour supprimer les vibrations à ≤ 1 S pendant le mouvement, assurant ainsi un fonctionnement stable de l'équipement et un affichage de l'image agrandie 2000X sans brouillage ; en même temps, la soupape de réglage de haute précision contrôle l'erreur de la partie mobile de la plate-forme en hauteur à ≤ 0,1 mm, ce qui permet de réaliser efficacement la capacité de test rapide puce-à-puce et de maintenir l'ensemble du système en fonctionnement stable même pendant le processus de mouvement à grande vitesse, améliorant ainsi considérablement l'efficacité des tests.
