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Présentation des produits Structure fonctionnelle Spécifications techniques Téléchargements
Machine de réparation laser des panneaux LCVD

Présentation des produits

La machine de réparation laser de panneaux LCVD est une machine de réparation automatisée conçue pour réparer les défauts et les défaillances des panneaux LCD. Basée sur le système de vision industrielle de pointe de SEMISHARE, la machine permet de fournir des solutions de réparation de haute précision pour les défauts d'affichage des produits LCD finis/semi-finis, améliorant davantage l'efficacité d'exploitation pour les entreprises.

Informations de base

Numéro de produit LCVD-G6 | LCVD-G8.5 Environnement de travail Open type
Besoins en énergie 380V,50Hz,3Phase,approx.40AMax / 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max Mode de contrôle Full-Automatic
Dimensions du produit 2850mm wide x2500mm long x2500mm high Poids de l'équipement About 7500 kg

Domaines d'application

Réparation des défauts de circuit ouvert et de court-circuit dans les circuits des panneaux TFT-LCD et OLED, et réparation des défauts des masques

Caractéristiques techniques

Caractéristiques techniques

● Reconnaissance d'image optique à fort grossissement, mise au point d'étalonnage automatique ● Opération visuelle du système laser, améliorant considérablement l'efficacité de la réparation ● Structure du moteur linéaire, précision du laser de 1 μm, haute vitesse et sans bruit ● Positionnement automatique de l'AOI, chargement et déchargement automatiques des plaquettes ● Fonctions de test logicielles riches, étalonnage de haute précision du système mécanique ● Forme de réparation modifiable, permettant une conception multiposte ● Système antichoc interne de pointe, assurant un fonctionnement plus stable ● Système de blindage électrique, assurant une protection contre la lumière et les interférences électromagnétiques

Title

Model LCVD series

Specification
Model LCVD-G6 LCVD-G8.5
Dimension W: 2850mm*L: 2500mm*H: 2500mm W: 4000mm*L: 3500mm*H: 2500mm
Weight (about) 7500KG 10500KG
Electricity Demand 380V, 50Hz, 3Phase, approx. 40A Max. 380V, 50Hz, 3Phase, approx. 60A Max.
Repair capacity Repairable panel size L * W ≤ 1500mm * 1850mm, L * W ≤ 2500mm * 2200mm, Thickness ≤ 3mm
Thickness ≤ 3mm Laser Laser system DPSS Laser cutting system
CVD material W, Cr, MO, Al CW Laser deposition system
line deposition velocity 5~10μm/s ( Thickness 5000Å ) Energy regulation
accuracy
0-1000 steps
Single defect repair time After positioning, the time of repairing 0-100%
a single defect is about 5 seconds. Slit size 0~2.5mm
Recipe Software edit and stroed locally Slit accuracy 1μm
Cutting width 1μm~50μm adjustable

Laser energy calibration

mode

Automatic calibration
CVD width 2μm~30μm adjustable Calibration time cost 3mins
CVD edge accuracy +/-0.5μm Laser energy Better than 2%
CVD thickness 2000Å ~15000Å Adjustable calibration accuracy
Resistance of
<65Ω (width: 5μm, Length : Wavelength Cut Laser: IR 1064nm, GRN 532nm,
deposition line 50μm, Thickness : 5000 ) UV266nmCVD CW laser: NUV 351nm
CVD stability Cleaning times by cleaning Pulse width < 12 ns
machine >10 times Spot size 2.0~ @50X  object 1064nm
Strong acid-base test > 1H ( test on standard mask)
Brush wipe > 1H

Scanning energy

uniformity

Better than 5% @IR
Ultrasonic 1Mhz > 1H Laser lifetime Cut Laser: 1 billion excitation
Gantry X-Y-Z travel range LCVD-G6 1500 * 1850 * 58mm,
LCVD-G8.5 2500 * 2200 * 58mm
CVD CW laser: 8000 hours
Repair mode Scan mode and Step mode
X-Y velocity 0~400mm/s adjustable Scanning path Arbitrary path definition
X-Y resolution(minimum movement) 0.1μm Control Working mode Automatic repair, automatic data
Z velocity 0~2mm/s Adjustable load, on-line communication
Z resolution (minimum movement) 0.1μm Manual or automatic repair
Repeatability accuracy +-5μm Panel load Robot
Repair alignment accuracy 0.1μm CIM system Yes
Microscope

magnification

50X~ 1000X Anti-vibration Vibration free table installed

Industry PC

23-inch display & computer: i7

objectives

5X,10X, 20X, 50X NIR, 50X processor, 2 blocks 1TB hard disk
UV, 50X NUV Objects (one of which is a backup hard disk),

Optical resolution

0.7μm 8G memory, 1G Independent video
card, DVD-ROM
Objective switching speed 0.2~0.7s Communication interface RS232 / EtherCAT / GPIB etc.

Security

Frame covered , and the operator
Switching lens deviation Less than 3μm operates outside .EMO
Focus Laser auto focus

Limit sensor, Motion platform and

Laser system limit interlock

Cemera 2 million pixels Alarm
Lighting TOP/Bottom coaxial LED light,Light adjustable independently
Direction of application TFT-LCD and OLED array panel short circuit and open circuit repair, Mask defects repair
Characteristic
Stable laser repair results Feature-rich software
Ultrafast laser repair speed Repair shape can be edited arbitrary
Linear Motor platform with 0.1μm Resolution Automatic AOI defect location
Minimal damage Multistation desgin
Laser precision 1μm Automatic panel exchange

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