Présentation des produits
Les stations de sonde sous vide à haute/basse température de la série CG sont une réalisation innovante de SEMISHARE après des années d'accumulation de technologie, et elles sont également les premières stations de sonde sous vide à haute/basse température de la Chine développées et lancées indépendamment par SEMISHARE. Ces stations permettent de tester avec précision la puissance électrique, l'intensité lumineuse, la longueur d'onde, le champ magnétique des échantillons dans un environnement sous vide à haute/basse température. Elles exploitent leurs atouts technologiques dans les domaines de l'ultra-basse température, de l'ultra-vide, du contrôle automatique et de la simulation laser.
Informations de base
| Numéro de produit | CG-O-4 | Environnement de travail | High and low temperature vacuum environment |
| Besoins en énergie | AC220V,50~60HZ | Mode de contrôle | Manual Probe Station |
| Dimensions du produit | 1100mm*1100mm*530mm | Poids de l'équipement | About 190 kg |
Domaines d'application
Les stations de sonde sous vide à haute/basse température de la série CG sont utilisées pour les tests des puces, les tests LD/LED/PD, les tests de caractéristiques spectrales des fibres optiques, les tests de caractéristiques IV/CV des matériaux/dispositifs, les tests de Hall, les tests de caractéristiques de transport électromagnétique, les tests de caractéristiques haute fréquence, etc. dans un environnement à vide à haute/basse température
Caractéristiques techniques
Chambre à vide
La chambre à vide, constituée d'une cavité extérieure et d'une cavité de blindage, fournit un environnement à vide avec une pression finale de 5x10-⁴ Pa (lorsqu'une pompe moléculaire de 250 L/s est configurée) pour tester les échantillons. Lors des tests à basse température, elle empêche la vapeur d'eau dans l'air de se condenser en rosée sur les échantillons, évitant ainsi les échecs dus à une fuite excessive ou à l'incapacité de la sonde à entrer en contact avec l'électrode. En même temps, l'effet d'isolation thermique du vide peut assurer un refroidissement efficace. Lors des tests à haute température, elle empêche l'oxygène dans l'air d'oxyder les échantillons, évitant ainsi les erreurs électriques et les déformations physiques et mécaniques des échantillons.
Mécanisme de réglage XYZ du bras de sonde
Le mécanisme de réglage XYZ du bras de sonde adopte une structure de vis autobloquante et de rails à rouleaux croisés pour obtenir une aiguille à pointe de haute précision avec une précision de positionnement de la sonde de 10 μm et une dérive de la sonde meilleure que ±60 nm/30 min. Par ailleurs, l'utilisation d'une fixation tubulaire triaxiale et d'un câble triaxial avec une fonction de blindage élevé permet d'obtenir une précision du test de fuite de 50 FA.
Mécanisme de réglage du microscope
Le mécanisme de réglage du microscope permet d'observer n'importe quelle zone de l'échantillon par le réglage de la hauteur télescopique du cadre de support et du siège réglable du microscope. L'oculaire 20X et l'objectif 0,8X-5X assurent un grossissement de l'échantillon de 16X-100X.
Système de régulation du flux de réfrigérant
Le système de régulation du réfrigérant se compose d'un vase Dewar, d'une vanne de régulation de la pression de l'azote comprimé et d'une vanne à pointeau de précision. Lors du contrôle des basses températures, la pression dans le vase Dewar est régulée par la vanne de régulation de la pression de l'azote comprimé, de manière à contrôler la pression de sortie du réfrigérant et à ajuster ensuite le débit du réfrigérant ; le débit du réfrigérant est contrôlé avec précision par la vanne à pointeau de précision, afin de réaliser finalement la fonction de contrôle précis des basses températures.
Circuit coaxial de réfrigérant
Le circuit coaxial de réfrigérant permet au réfrigérant d'entrer dans la table d'échantillon depuis le centre par la tuyauterie, de s'écouler à travers la chambre de la plaque de base de la cavité de blindage, puis de retourner dans le tuyau de retour extérieur du circuit coaxial et enfin d'être évacué vers l'extérieur par l'orifice d'échappement. Grâce à ce circuit coaxial, le réfrigérant peut être réutilisé pendant le processus d'évacuation pour créer un environnement beaucoup plus frais par rapport à la température ambiante afin d'empêcher la consommation prématurée du réfrigérant entrant dans la table d'échantillon, augmentant ainsi l'efficacité de refroidissement du réfrigérant et réduisant la consommation du réfrigérant.
Plate-forme antichoc
Le système antichoc adopte une plate-forme antichoc avec un cadre de support à ressorts pneumatiques. Grâce à une série de conceptions d'absorption des chocs dans divers aspects tels que la forme et le matériau des ressorts pneumatiques, le volume de la chambre des ressorts et du réservoir auxiliaire, l'ouverture d'amortissement et la soupape de réglage horizontale, le système a une faible fréquence intrinsèque (fréquence propre verticale de 1,5 Hz et fréquence propre horizontale de 1,2 Hz) et une capacité de charge jusqu'à 400 kg. Cela permet d'éviter efficacement les effets néfastes des vibrations subtiles de la bande de basse fréquence sur le test.
