Présentation des produits
La machine de réparation LCVD des masques réalise la réparation des défauts sur les masques principalement en utilisant la technologie de dépôt en phase vapeur par procédé chimique induit par laser (en anglais : Laser chemical vapor deposition, LCVD). La série LD14 de SEMISHARE, avec une large gamme d'épaisseurs de dépôt, une grande précision de réparation et une précision du laser au niveau du micron, peut traiter efficacement les masques avec des pas extrêmement petits et permet d'offrir des solutions de réparation de haute précision et à faible coût pour les défauts des masques de grande valeur, réduisant davantage les coûts de production et d'exploitation pour les entreprises.
Informations de base
| Numéro de produit | LD14 | Environnement de travail | Enclosed |
| Besoins en énergie | AC 220V ±5% 50Hz | Mode de contrôle | Full-automatic |
| Dimensions du produit | Customizable | Poids de l'équipement | Customizable |
Domaines d'application
Elle peut être utilisée pour combler les parties manquantes ou réparer les motifs. Cette technologie est généralement utilisée pour résoudre les problèmes tels que les circuits ouverts et les courts-circuits.
Caractéristiques techniques
Machine de réparation LCVD des masques LD14
● Pour les produits de différentes épaisseurs et de grandes portées, aucun réglage manuel n'est nécessaire lors du changement de produits ; la machine peut s'adapter automatiquement au réglage de la hauteur de la tête de dépôt. ● Le système de contrôle de la gestion du dépôt en phase vapeur peut évaporer quantitativement les dépôts, ce qui garantit qu'une utilisation à long terme n'entraîne pas de prolongation des temps de dépôt en raison d'une diminution des taux d'évaporation due à la consommation de matériaux, répondant ainsi aux demandes des clients en matière de stabilité du procédé. ● Le système de traitement et de récupération des gaz d'échappement, équipé de dizaines de couches de filtres à haute température, peut entièrement capturer et séparer les composants nocifs dans les gaz d'échappement, et diriger les gaz d'échappement dans la tuyauterie de gaz d'échappement de l'usine après le refroidissement. ● Elle permet de fournir des produits personnalisés en fonction des besoins du client
