Présentation des produits
La machine de découpe au laser et de réparation des masques de la série L14 est principalement utilisée pour réparer les défauts des masques survenant pendant l'utilisation. Basée sur le système de vision industrielle de pointe de SEMISHARE, elle permet de fournir des solutions de réparation de haute précision pour les défauts des masques de grande valeur, réduisant davantage les coûts de production et d'exploitation pour les entreprises.
Informations de base
Numéro de produit | L14 | Environnement de travail | Open Type |
Besoins en énergie | AC 220V ±5% 50Hz | Mode de contrôle | Manual |
Dimensions du produit | Customizable | Poids de l'équipement | Customizable |
Domaines d'application
Scénarios d'application nécessitant une découpe précise ou un enlèvement de couches de matériau spécifiques
Caractéristiques techniques
Machine de découpe et de réparation des masques L14
● Elle peut réparer divers matériaux, notamment le chrome, le silicium, le nitrure de silicium, le quartz, les matériaux EUV, les particules étrangères et les particules inconnues tenaces ● Elle peut enlever ou réparer avec précision les zones défectueuses sans affecter les autres parties du masque ● Elle permet de fournir des produits personnalisés en fonction des besoins du client