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    Stazione semiautomatica della sonda ad alta e bassa temperatura sotto vuoto serie CGX

    Panoramica del prodotto

    La stazione semiautomatica della sonda ad alta e bassa temperatura sotto vuoto serie SEMIHARE CGX è progettata per la ricerca e le applicazioni di produzione specifiche e può completare rapidamente test di alta precisione su un singolo wafer in un ambiente vuoto con intervalli di temperatura di 77K-450K (azoto liquido) e 10K-450K (elio liquido).

    Informazioni di base

    Numero del prodotto CGX8 Ambiente di lavoro Vacuum High-Low Temperature Environment
    Esigenze energetiche AC220V,50~60HZ Modalità di controllo Semi-Automatic
    Dimensioni del prodotto 1150*1450*1800mm Peso del dispositivo About 1000KG

    Direzioni applicative

    Secondo la classificazione dei campioni di prova: prova del wafer, prova del LED, prova del dispositivo di alimentazione, prova del MEMS, prova del PCB, prova del pannello LCD, prova della cella solare, prova di resistività superficiale del materiale Secondo la classificazione delle applicazioni: prova RF, prova dell'ambiente ad alta temperatura, prova a bassa corrente (livello 100fA), prova I-v/c-v/p-iv, alta tensione, prova ad alta corrente, prova dell'ambiente del campo magnetico, prova dell'ambiente delle radiazioni

    Caratteristiche tecniche

    Sistema di integrazione software sviluppato indipendentemente con maggiore compatibilità

    ● Supporta il controllo semiautomatico (può essere testato manualmente o automaticamente)
    ● Calibrazione automatica del wafer, mappatura automatica del wafer, misurazione automatica della dimensione dello stampo, allineamento automatico e dati di test automatici accessibili da remoto
    ● Calibrazione automatica del modulo della sonda RF con un solo clic, funzione automatica di cancellazione dell'ago
    ● Calibrazione adattiva di precisione Chuck a quattro assi con un clic, che supporta la misura del punto del pad a livello di micron
    ● Supporta test a punto singolo e test continui
    ● Potenti capacità di archiviazione e elaborazione dei dati
    ● I risultati delle prove possono essere suddivisi in valori BIN per determinare l'NG del dispositivo
    ● Funzione di integrazione multi-sistema, in grado di aggiornare autonomamente i sistemi operativi, i sistemi applicativi e i sistemi di test del dispositivo

    Microscopio zoom elettrico

    Microscopio zoom elettrico veloce e preciso 12: 1, gamma di zoom 0.6X ~ 7.2X, risoluzione dell'immagine 3,05 μm, ingrandimento completo 33X ~ 396X

    Sistema CHUCK efficiente per migliorare notevolmente l'efficienza dei test

    ● Sistema di test CHUCK ad alte prestazioni con velocità operativa ≥40 mm/s, precisione di movimento ≤±1 μm e tempo di indice mobile ≤500 ms. Eccellenti parametri del sistema, a livello leader nel settore, garantiscono un'elevata precisione e stabilità nei test ripetitivi di wafer e dispositivi, migliorando notevolmente l'efficienza complessiva del test.
    ● Precisione e stabilità del controllo termico superiore a ± 0,1 °C, fornendo test affidabili del wafer in ambienti ad alta e bassa temperatura;
    ● Design compatto a basso baricentro con movimento a quattro dimensioni, che assicura una velocità di movimento di 40 mm/s mantenendo la stabilità durante l'accelerazione e la decelerazione.

    Title

    Mechanical Specifications

    Chuck

    8"

    Chuck Flatness

    20μm

    Probe Arm Positioning Accuracy

    2μm

    Probe Arm X-axis Travel

    10mm

    Probe Arm Y-axis Travel

    10mm

    Probe Arm Z-axis Travel

    10mm

    Chuck Stage X-axis Travel

    200mm

    Chuck Stage Y-axis Travel

    200mm

    Chuck Stage Z-axis Travel

    20mm

    Chuck Stage Theta-axis Travel

    ±5°

    Chuck Stage Repeated Positioning Accuracy

    ±1μm

    Temperature Control Specifications

    Temperature Range

    77K-450K (liquid nitrogen), 10K-450K (liquid helium)

    Temperature Controller Resolution

    0.001℃

    Sensor Error

    0.5% in any segment

    Vacuum Specifications

    Leak Rate

    1.3x10-9 Pa.M3/s

    Turbo Pumping Speed

    290L/S

    Turbo Pump Ultimate Pressure

    5 x 10-10mbar

    System Ultimate Pressure

    5.0x10-4Pa


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