Soluzione di Test
Negli ultimi anni, con il rapido sviluppo dell'industria dei semiconduttori RF, la tecnologia delle microonde RF è stata ampiamente utilizzata nelle comunicazioni wireless cellulari, nelle comunicazioni satellitari, nel posizionamento GPS, nella navigazione, nei radar veicolari, nei sistemi intelligenti di raccolta pedaggi elettronici, nelle comunicazioni militari e in altri settori. Molte città hanno anche attivato le reti 5G per coprire continuamente le applicazioni a livello di wafer RF e le onde millimetriche (RF & MmW). La caratterizzazione di RF e onde millimetriche è una parte fondamentale nella progettazione e nella regolazione dei circuiti integrati RF, nonché nella modellazione altamente efficiente dei dispositivi a semiconduttore. A causa delle attrezzature per il test RF a livello di wafer (come analizzatori di rete vettoriali, sintonizzatori di impedenza ad alta frequenza, dispositivi di accoppiamento, bias-Ts e molti altri componenti del sistema), l'installazione di integrazione richiede elevata complessità e particolarità. SEMISHARE, per questo motivo, lavora molto sulla precisione delle misurazioni.
La domanda di misurazioni delle radiofrequenze riguarda principalmente le caratteristiche di potenza RF e rumore RF, descrivendo la dimensione della misurazione del segnale, i parametri S del segnale, la sorgente del segnale, il carico, il movimento e l'adattamento dell'impedenza. Queste applicazioni sono una sfida per il sistema di misurazione, come la stabilità meccanica del sistema, il percorso di trasmissione più breve per la misurazione e la migliore direzione, per un lungo periodo, per diversi tipi di metalli da testare, con la capacità di misurare punti in modo ripetitivo e con alta coerenza, e la possibilità di eseguire una correzione precisa all'estremità dell'oggetto in prova.
Viene eseguito il test del rapporto della misura d'onda del parametro S del dispositivo a microonde, inclusi i test di ampiezza, ritardo di fase e altri test.
1. La dimensione del chuck non è inferiore a 6 pollici, la corsa del movimento X-Y-Z non è inferiore a 150 mm, 150 mm, 10 mm, compatibile con modalità di controllo manuale e semi-automatico, con precisione corrispondente di 0,1 μm, 0,1 μm, 0,1 μm. La rotazione elettrica dell'asse Theta 5, con precisione di 0,001 2.Il chuck adotta fori di adsorbimento indipendenti e molti anelli circolari campioni, entrambi controllabili in modo indipendente. I fori di adsorbimento indipendenti possono essere scelti con diametro inferiore a 500 micron, e la dimensione massima compatibile con l'uso di campioni di ceramica di 50,8 mm x 50,8 mm, 50 mm x 60 mm, 60 mm x 70 mm, e un singolo campione di dimensioni ridotte (con dimensioni superiori al diametro del foro di assorbimento). È equipaggiato con un dispositivo a ventosa, con un supporto di fissaggio che consente il posizionamento per tre diverse dimensioni sui campioni ceramici porosi per il test di adsorbimento.
