Panoramica del prodotto
La stazione della sonda ad alta e bassa temperatura sotto vuoto serie CG è un risultato innovativo accumulato da SEMISHARE nel corso degli anni. Allo stesso tempo, SEMISHARE è anche la prima stazione della sonda di vuoto ad alta e bassa temperatura sviluppata e lanciata in modo indipendente in Cina. La stazione della sonda di vuoto ad alta e bassa temperatura CG può realizzare l'elettricità precisa, l'intensità della luce, la lunghezza d'onda, il campo magnetico e altri test di campioni in ambienti di vuoto ad alta e bassa temperatura. Ha un vantaggio tecnologico nella temperatura ultra-bassa, nella temperatura ultra-alta nel vuoto, nel controllo automatico e nella simulazione laser.
Informazioni di base
| Numero del prodotto | CG-O-4 | Ambiente di lavoro | High and low temperature vacuum environment |
| Esigenze energetiche | AC220V,50~60HZ | Modalità di controllo | Manual Probe Station |
| Dimensioni del prodotto | 1100mm*1100mm*530mm | Peso del dispositivo | About 190 kg |
Direzioni applicative
Stazione della sonda di vuoto ad alta e bassa temperatura serie CG per la prova del chip, prova LD/LED/PD, prova spettrale della caratteristica della fibra ottica, prova caratteristica IV/CV di materiali/dispositivi, prova Hall, prova caratteristica di trasporto elettromagnetico, prova caratteristica ad alta frequenza, ecc. in ambienti di vuoto ad alta e bassa temperatura
Caratteristiche tecniche
Camera di vuoto
La camera di vuoto adotta una struttura a doppia camera di una camera esterna e di una camera di schermatura, fornendo un ambiente di vuoto con una pressione massima di 5x10⁻⁴ Pa (quando la pompa molecolare è configurata con 250L/s) per la prova del campione.
Durante i test a bassa temperatura, evitare la condensazione del vapore acqueo nell'aria sul campione per evitare perdite eccessive o guasti della sonda dovuti al contatto con elettrodi.
Nel frattempo, a causa dell'effetto dell'isolamento sottovuoto, può efficacemente fornire efficienza di refrigerazione.
Durante la prova ad alta temperatura, si evita l'ossidazione dell'ossigeno nel campione nell'aria, evitando così errori elettrici, deformazioni fisiche e meccaniche del campione.
Meccanismo di regolazione XYZ del braccio sonda
Il meccanismo di regolazione XYZ del braccio della sonda adotta una struttura a vite autobloccante e della guida a rulli incrociati, raggiungendo l'accuratezza di posizionamento di 10um e la deriva della sonda migliore di ± 60nm/30min dell'ago del punto di alta precisione.
Allo stesso tempo, i fissaggi tubolari a tre assi e i cavi a tre assi ad alta schermatura vengono utilizzati per ottenere una precisione di perdita di prova di 50FA.
Meccanismo di regolazione del microscopio
Il meccanismo di regolazione del microscopio può osservare qualsiasi area del campione regolando l'estensione e l'altezza del telaio di supporto, così come il sedile di regolazione incorporato del microscopio.
Oculare 20x e ingrandimento obiettivo 0,8x-5x per ottenere l'ingrandimento del campione 16X-100X.
Sistema di regolazione del flusso del refrigerante
Il sistema di regolazione del refrigerante è costituito da un serbatoio Dewar, una valvola di controllo della pressione dell'azoto compresso e una valvola ad ago regolata di precisione.
Quando si controlla la bassa temperatura, la pressione nel serbatoio Dewar è regolata regolando la valvola di controllo della pressione dell'azoto compresso, controllando così la pressione di uscita del refrigerante e regolando la portata del refrigerante; Regolando la valvola ad ago di precisione, la portata della refrigerazione può essere controllata con precisione, ottenendo infine la funzione precisa di controllo della temperatura a bassa temperatura.
Circuito coassiale del refrigerante
Il circuito coassiale del refrigerante fa sì che il refrigerante entri nella tubazione dal centro nel banco del campione, fluisca attraverso la camera di schermatura e la camera della piastra inferiore e ritorni al tubo di ritorno esterno del circuito coassiale e infine scarichi all'esterno attraverso la porta di scarico.
Il circuito coassiale del refrigerante consente di utilizzare il refrigerante durante il processo di scarico, creando un ambiente molto più basso rispetto alla temperatura ambiente, sopprimendo il consumo anticipato di refrigerante che entra nel banco del campione, migliorando così l'efficienza di refrigerazione del refrigerante e riducendo il suo consumo.
Piattaforma antivibrazioni
Il sistema antivibrazioni adotta una piattaforma antivibrazioni con un telaio di supporto a molla pneumatica. Attraverso una serie di progetti di assorbimento degli urti quali la forma e il materiale della molla pneumatica, il volume della camera della molla, il volume del serbatoio ausiliario, l'apertura di smorzamento e la valvola di regolazione orizzontale, l'autofrequenza verticale del sistema è di 1,5 Hz e l'autofrequenza orizzontale è una frequenza naturale a bassa frequenza di 1,2 hz, con una capacità portante di 400 Kg. Così si evitano efficacemente gli effetti negativi delle vibrazioni sottili a bassa frequenza sui test.
