Panoramica del prodotto
Il sistema di prova di resistenza quadrata a quattro sonde completamente automatico è un dispositivo di misura di alta precisione con vantaggi quali buona affidabilità e facilità d'uso, che è di grande importanza per la progettazione, la produzione e il controllo di qualità dei dispositivi microelettronici.
Informazioni di base
Numero del prodotto | SR8/SR12 | Ambiente di lavoro | room/high temperature, shielded |
Esigenze energetiche | / | Modalità di controllo | Full-automatic |
Dimensioni del prodotto | Customizable | Peso del dispositivo | Customizable |
Direzioni applicative
Materiali semiconduttori, materiali delle celle solari (silicio, silicio policristallino, carburo di silicio, ecc.), nuovi materiali, materiali funzionali (nanotubi di carbonio, DLC, grafene, nanofili d'argento, ecc.), film sottili conduttivi (metalli, ITO, ecc.), film sottili correlati al silicio (LTPS, ecc.), test dello strato di diffusione, altri (* contattaci per dettagli)
Caratteristiche tecniche
Caratteristiche tecniche
● SR8 è compatibile con wafer da 6/8 pollici, SR12 è compatibile con wafer da 8/12 pollici
● Progettato secondo la prestazione di misura completamente automatica della linea di produzione, con alta efficienza di prova
● Configurazione singola/ doppia sonda, adatta a diversi scenari applicativi
● Protocollo opzionale di comunicazione di fabbrica SECS/ GEM
● Conforme agli standard del settore ASTM e JIS