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    Sistema di prova di resistenza quadrata a quattro sonde completamente automatico

    Panoramica del prodotto

    Il sistema di prova di resistenza quadrata a quattro sonde completamente automatico è un dispositivo di misura di alta precisione con vantaggi quali buona affidabilità e facilità d'uso, che è di grande importanza per la progettazione, la produzione e il controllo di qualità dei dispositivi microelettronici.

    Informazioni di base

    Numero del prodotto SR8/SR12 Ambiente di lavoro room/high temperature, shielded
    Esigenze energetiche / Modalità di controllo Full-automatic
    Dimensioni del prodotto Customizable Peso del dispositivo Customizable

    Direzioni applicative

    Materiali semiconduttori, materiali delle celle solari (silicio, silicio policristallino, carburo di silicio, ecc.), nuovi materiali, materiali funzionali (nanotubi di carbonio, DLC, grafene, nanofili d'argento, ecc.), film sottili conduttivi (metalli, ITO, ecc.), film sottili correlati al silicio (LTPS, ecc.), test dello strato di diffusione, altri (* contattaci per dettagli)

    Caratteristiche tecniche

    Caratteristiche tecniche

    ● SR8 è compatibile con wafer da 6/8 pollici, SR12 è compatibile con wafer da 8/12 pollici
    ● Progettato secondo la prestazione di misura completamente automatica della linea di produzione, con alta efficienza di prova
    ● Configurazione singola/ doppia sonda, adatta a diversi scenari applicativi
    ● Protocollo opzionale di comunicazione di fabbrica SECS/ GEM
    ● Conforme agli standard del settore ASTM e JIS

    Title

    Model

    SR8/SR12

    Sample size

    <Circle>  150mm(6inch), 200mm(8inch), 300mm(12 inch)

    <Square> 730x920mm or customer design

    Test range

    [R] 1μ~3M Ω・cm

    [RS] 5m~10M Ω/sq

    Loadport

    Single/dual port

    Probe

    Single/dual probes

    Industry standards

    ASTM and JIS

    Communication Interface

    SECS/GEM

    Function Configuration

    Clean Pad, E1/E2 Cameras, Temperature Chuck, Wafer Thickness Test, etc.



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