Panoramica del prodotto
L'apparecchiatura di taglio e riparazione laser della versione maschera serie L14 è utilizzata principalmente per riparare i difetti durante l'uso delle maschere. L'apparecchiatura si basa sul sistema di visione macchina leader di SEMISHARE e può fornire soluzioni di riparazione di alta precisione per difetti di maschera di alto valore, risparmiando i costi di produzione e fabbricazione delle imprese in misura maggiore.
Informazioni di base
| Numero del prodotto | L14 | Ambiente di lavoro | Open Type |
| Esigenze energetiche | AC 220V ±5% 50Hz | Modalità di controllo | Manual |
| Dimensioni del prodotto | Customizable | Peso del dispositivo | Customizable |
Direzioni applicative
Scenari applicativi che richiedono un taglio preciso o la rimozione di strati di materiale specifici
Caratteristiche tecniche
Caratteristiche tecniche
Versione maschera Mask Cut Repair
● In grado di riparare vari materiali tra cui cromo, silicio, nitruro di silicio, quarzo, materiali EUV, particelle estranee e particelle sconosciute ostinate;
● In grado di rimuovere o riparare accuratamente aree difettose senza intaccare altre parti della maschera;
● In grado di fornire prodotti personalizzati secondo le esigenze del cliente.
