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    Masken-Reparaturgerät L14

    Product Overview

    L14-Serie Masken-Laser-Schneid- und Reparaturgeräte dienen hauptsächlich zur Reparatur von Defekten, die während der Verwendung von Masken auftreten. Das Gerät basiert auf dem führenden maschinellen Bildverarbeitungssystem von SEMISHARE und bietet hochpräzise Reparaturlösungen für Masken-Defekte, um die Produktionskosten der Unternehmen erheblich zu senken.

    Basisinformationen

    Produktnummer L14 Arbeitsumgebung Open Type
    Stromanforderungen AC 220V ±5% 50Hz Steuerungsmodus Manual
    Produktabmessungen Customizable Gerätegewicht Customizable

    Anwendungsbereich

    Anwendungsszenarien, die präzises Schneiden oder Entfernen spezifischer Materialschichten erfordern.

    Technische Merkmale

    Masken-Reparaturgerät L14

    ● Kann verschiedene Materialien wie Chrom, Silizium, Siliziumnitrid, Quarz, EUV-Materialien, Fremdpartikel und hartnäckige unbekannte Partikel reparieren.
    ● Kann Defektbereiche präzise entfernen oder reparieren, ohne andere Teile der Maske zu beeinträchtigen.
    ● Anpassbare Produkte gemäß Kundenanforderungen.

    Title

    Stage

    Size

    500mm*320mm

    X-Y Travel

    8*8 inches

    Sample Fixing Method

    natural placement

    Light Source

    backlight, upper light source

    Microscope Characteristics

    Travel

    mirror body fixed, Z-axis travel: 50mm

    CCD Pixel

    50W(analog)/200W(digital)/500W(digital)

    Eyepiece

    10X eyepiece

    Objective Lens

    5X, 10X, 20X, 50X (optional), 100X (optional)

    Objective Lens Turntable

    manual nose wheel

    Laser Characteristics

    Wavelength

    optional wavelength: 1064/532/355/266nm band

    Energy

    output power: 2.2mJ/pulse

    Micromachining Capability

    machinable materials: Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/mpurities in CF, etc.

    Processing Accuracy

    minimum process accuracy 1*1μm (when equipped with 100X lens)

    Cooling Method

    air-cooled laser/water-cooled laser


    Kundendienst
    Angebotsanfrage Angebotsanfrage
    Kontakttelefon

    Kontakttelefon

    0755-2690 6952 turn 801/804/806/814

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