Masken-LCVD-Reparatur LD14

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Masken-LCVD-Reparatur LD14

Product Overview

Masken-LCVD-Reparaturgeräte verwenden die Technologie der laserinduzierten chemischen Gasphasenabscheidung (LCVD), um Defekte auf Masken zu reparieren. SEMISHARE LD14-Serie bietet einen breiten Bereich an Abscheidungsdicken, hohe Reparaturgenauigkeit und mikrometergenaue Laserpräzision, um auch Masken mit extrem kleinen Abständen zu bearbeiten. Sie bietet hochpräzise, kostengünstige Reparaturlösungen für Masken-Defekte, um die Betriebskosten der Unternehmen erheblich zu senken.

Basisinformationen

Produktnummer	LD14	Arbeitsumgebung	Enclosed
Stromanforderungen	AC 220V ±5% 50Hz	Steuerungsmodus	Full-automatic
Produktabmessungen	Customizable	Gerätegewicht	Customizable

Anwendungsbereich

Einsatz zur Wiederherstellung fehlender Teile oder zur Reparatur von Mustern auf Masken. Diese Technologie wird häufig zur Reparatur von Unterbrechungen und Kurzschlüssen in Schaltungen eingesetzt.

Technische Merkmale

Masken-LCVD-Reparatur LD14

● Für Produkte mit unterschiedlichen Dicken und großen Spannen passt das Gerät die Höhe des Abscheidungskopfes automatisch an, ohne manuelle Anpassung beim Produktwechsel.
● Steuerungssystem für Gasphasenabscheidung: Ermöglicht die quantitative Verdampfung und Abscheidung. Selbst bei längerem Gebrauch bleibt die Prozessstabilität trotz Materialverbrauch und Verdampfungsratenabnahme erhalten.
● Abgasrückgewinnungssystem: Hochtemperatur-Filter mit mehreren Schichten, die schädliche Bestandteile aus den Abgasen auffangen. Nach der Kühlung werden die Abgase in die Werksabgasleitung geleitet.
● Anpassbare Produkte gemäß Kundenanforderungen.

Title

Project	Description
Processing time (1 defect/piece, including positioning time)	15 s
Panel size range	5”-14”
Panel thickness	0.1-5mm
Motion resolution	±0.1μm
Repeat positioning accuracy	±1μm
Slit accuracy	≤±1μm
Autofocus objective lens switching center offset	≤±1μm
Deposition parameters	Deposition mode:Scan and Step
	Deposition shape: rectangular and circular, length, width, side length or diameter The actual size of the spot can be adjusted and displayed by software
	Step deposition rectangle size range: 3μm3μm~30μm30μm, adjustment accuracy 1μm
Deposition edge accuracy	±0.5μm
Deposition thickness	2000 Å ~15000Å adjustable
Maximum total power	3.5KW
	AC 220V ±5% 50Hz
UPS	1000VA/500W 3-20 minutes (half load)
Consumables	Compressed air CDA (0.6Mpa, 0~1L/min)
	High purity argon Ar (0.6Mpa, 0~5L/min)
	High purity Cr(CO)6 (purity higher than 99.8%) High purity W(CO)6 (purity higher than 99.8%) or Mo(CO)6 (purity higher than 99.8%)
Size	123013902410
Computer configuration	i5-6500CPU, 8GDDR4 memory, 128G solid state drive + 1T mechanical hard disk, 300W industrial-grade power supply, beta version win1064-bit system, PCIeX16, PCIeX4, PCI slot X5, motherboard Gigabit network port X2, serial port X6

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