Product Overview
CG-Serie Vakuum-Hoch-/Tieftemperatur-Probestation ist das Ergebnis jahrelanger technischer Innovationen von SEMISHARE. SEMISHARE war das erste Unternehmen in China, das eine Hoch-/Tieftemperatur-Vakuum-Probestation unabhängig entwickelt und eingeführt hat. Die CG-Serie ermöglicht präzise Tests zu elektrischen, optischen, Wellenlängen- und Magnetfeld-Eigenschaften von Proben in Vakuum-Hoch-/Tieftemperaturumgebungen. Sie bietet technologische Vorteile in den Bereichen Ultratieftemperatur, Hochvakuum, automatische Steuerung und Lasersimulation.
Basisinformationen
| Produktnummer | CG-O-4 | Arbeitsumgebung | High and low temperature vacuum environment |
| Stromanforderungen | AC220V,50~60HZ | Steuerungsmodus | Manual Probe Station |
| Produktabmessungen | 1100mm*1100mm*530mm | Gerätegewicht | About 190 kg |
Anwendungsbereich
CG-Serie Vakuum-Hoch-/Tieftemperatur-Probestation wird unter anderem für Chip-Tests, LD/LED/PD-Tests, Tests der optischen Spektraleigenschaften von Glasfasern, IV/CV-Eigenschaftstests von Materialien/Bauteilen, Hall-Tests, elektromagnetische Transporteigenschaften und Hochfrequenztests eingesetzt.
Technische Merkmale
Vakuumkammer
Die Vakuumkammer verwendet eine Doppelkammerstruktur mit Außen-und Abschirmkammer, die eine Vakuumumgebung mit einem maximalen Druck von 5x10⁻⁴ Pa (bei Verwendung einer 250 L/s-Molekularpumpe) für Proben bietet. Bei Tieftemperaturtests wird verhindert, dass Wasserdampf in der Luft auf der Probe kondensiert und dadurch elektrische Leckagen oder Kontaktprobleme der Probe mit den Elektroden verursacht, was zu Testfehlern führen könnte. Gleichzeitig ermöglicht die Vakuumisolierung eine effiziente Kühlung. Bei Hochtemperaturtests wird die Oxidation der Probe durch Sauerstoff in der Luft verhindert, wodurch elektrische Fehler sowie physische und mechanische Verformungen vermieden werden.
XYZ-Einstellmechanismus der Probearme
XYZ-Einstellmechanismus der Probearme verwendet eine selbsthemmende Spindel und eine Kreuzrollenführung, wodurch eine Tastarm-Positionierungsgenauigkeit von 10 μm erreicht wird, und die Drift der Taster liegt bei besser als ±60 nm/30 min. Zudem wird ein dreiachsiger Rohrhalter und ein dreiachsiges Kabel mit hoher Abschirmfunktion verwendet, wodurch die Testgenauigkeit für Leckströme bis zu 50 fA erreicht wird.
Einstellmechanismus des Mikroskops
Der Einstellmechanismus des Mikroskops ermöglicht durch die Anpassung der Stützstruktur in Länge und Höhe sowie die Verstellung des Mikroskops, beliebige Bereiche der Probe zu beobachten. Mit einem 20-fachen Okular und einem Objektiv mit einem Zoomfaktor von 0,8-5-fach wird eine Vergrößerung von 16X-100X erzielt.
Kühlmittel-Durchflussregelungssystem
Das Kühlmittel-Regelungssystem besteht aus einem Dewargefäß, einem Druckregelventil für komprimierten Stickstoff und einem präzise einstellbaren Nadelventil. Die Druckregelung im Dewargefäß erfolgt durch das Druckregelventil für komprimierten Stickstoff, um den Druck des Kühlmittelauslasses und damit den Kühlmitteldurchfluss zu steuern. Durch das präzise Nadelventil wird der Kühlmitteldurchfluss feinjustiert, was letztendlich eine präzise Temperaturregelung bei niedrigen Temperaturen ermöglicht.
Koaxiales Kühlmittelkreislaufsystem
Das koaxiale Kühlmittelkreislaufsystem leitet das Kühlmittel durch eine zentrale Leitung in den Probentisch, lässt es durch den Boden der Abschirmkammer zirkulieren und führt es schließlich durch die äußere Rückflussleitung des koaxialen Systems ab, bevor es durch das Auslassventil nach außen abgegeben wird. Kältemittel-Koaxialkreislauf ermöglicht die Nutzung des Kältemittels während des Ausstoßprozesses, wodurch eine Umgebung geschaffen wird, die deutlich niedriger als die Raumtemperatur ist. Dies unterdrückt den vorzeitigen Verbrauch des Kältemittels im Probenhalter, verbessert die Kälteeffizienz und reduziert den Verbrauch des Kältemittels.
Schwingungsdämpfungsplattform
Das Schwingungsdämpfungssystem verwendet eine luftfederbasierte Plattform mit Federstützen. Durch die Gestaltung der Luftfederform, das Material, das Volumen der Federkammer, das Volumen des Hilfstanks, die Dämpfungsöffnung sowie eine Reihe von Schwingungsdämpfungsdesigns wie den horizontalen Einstellventilen erreicht das System eine vertikale Eigenfrequenz von 1,5 Hz und eine horizontale Eigenfrequenz von 1,2 Hz. Die Tragfähigkeit beträgt bis zu 400 kg. Dies vermeidet effektiv negative Auswirkungen von Mikroschwingungen mit niedriger Frequenz auf die Tests.
