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    Produktübersicht Funktionsstruktur Technische Spezifikationen Downloads
    SR Vollautomatisches Vier-Probe-Widerstandsmesssystem

    Product Overview

    Das Vierpunkt-Widerstandstest-System ist ein hochpräzises Messgerät, das hohe Zuverlässigkeit und einfache Bedienung bietet und von großer Bedeutung für das Design, die Produktion und die Qualitätskontrolle von Mikroelektronikgeräten ist.

    Basisinformationen

    Produktnummer SR8/SR12 Arbeitsumgebung room/high temperature, shielded
    Stromanforderungen / Steuerungsmodus Full-automatic
    Produktabmessungen Customizable Gerätegewicht Customizable

    Anwendungsbereich

    Halbleitermaterialien, Solarzellenmaterialien (z. B. Silizium, Polysilizium, Siliziumkarbid), Neue Materialien und Funktionsmaterialien (z. B. Kohlenstoffnanoröhren, DLC, Graphen, Silbernanodrähte), Leitfähige Dünnschichten (Metalle, ITO), Siliziumbezogene Dünnschichten (z. B. LTPS), Diffusionsschichttest, Weitere Anwendungen (*Bitte kontaktieren Sie uns für Details*)

    Technische Merkmale

    Technische Merkmale

    ● SR8 kompatibel mit 6-/8-Zoll-Wafern, SR12 kompatibel mit 8-/12-Zoll-Wafern
    ● Vollautomatisches Design für hohe Testeffizienz
    ● Einzel-/Doppelnadel-Konfiguration für unterschiedliche Anwendungsszenarien
    ● Optional mit SECS-/GEM-Protokoll für die Fabrikkommunikation
    ● Entspricht den ASTM- und JIS-Standards

    Title

    Model

    SR8/SR12

    Sample size

    <Circle>  150mm(6inch), 200mm(8inch), 300mm(12 inch)

    <Square> 730x920mm or customer design

    Test range

    [R] 1μ~3M Ω・cm

    [RS] 5m~10M Ω/sq

    Loadport

    Single/dual port

    Probe

    Single/dual probes

    Industry standards

    ASTM and JIS

    Communication Interface

    SECS/GEM

    Function Configuration

    Clean Pad, E1/E2 Cameras, Temperature Chuck, Wafer Thickness Test, etc.



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    Angebotsanfrage Angebotsanfrage
    Kontakttelefon

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    0755-2690 6952 turn 801/804/806/814

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